发布时间:2022-09-01 00:44:45
序言:写作是分享个人见解和探索未知领域的桥梁,我们为您精选了8篇的分公司合同样本,期待这些样本能够为您提供丰富的参考和启发,请尽情阅读。
【关键词】 合同 管理 规范化
一、合同管理在企业中的重要性
合同是企业经营管理的重要内容,是实现经营行为的主要手段,是现代化管理的必然要求。如果要最大限度发挥合同的作用,就必须加强合同管理,加强合同的标准化管理。因为标准化是制度化的最高形式,是规范化的最高要求,是科学化的最佳途径。只有加强合同的标准化管理,才能避免合同风险,规范经营行为,实现经营目标,提高企业竞争实力。
二、企业合同管理中出现的问题
煤炭企业涉及合同方面的内容很多,其中大家最常见和熟悉的有物资管理合同、销售管理合同等。这些合同都有专门的单位或部室人员进行管理,这些合同基本都有相对的时间、客户、管理格式等,有一定的规律可循,所以管理相对较为容易。但是,机关和后勤等涉及的对外合同,由于涉及种类多,部门多,格式内容等也比较多,部分部室人员由于专业性的限制,对合同需要的各项资料不了解,往往存在资料确实缺失情况,管理起来存在一定难度,需要多个部门的联合把关,也需要专门部室人员的管理。尤其是各矿厂机关后勤,分公司购买的设备、搞的土建工程等,缺少专门部室管理和监管,给企业合同管理埋下隐患。迫切需要鑫龙煤业专门部室及专门人员进行管理。
为避免公司机关、后勤服务部门以及分公司购买的设备、搞的土建工程、进行的各项设备、设施维修、租赁等,涉及的对外合同缺少专门管理。存在以下问题:
1.缺乏必要的法律知识,部分内容存在法律风险。
2.合同的审查、签订不规范,乱,对合同的履行缺乏行之有效的监督。
3.缺乏供应商的资质的审查。
4.部分合同存在对合同双方在合同执行过程中的责任与权利约定不明确、表述不清等问题。
这些都给企业合同管理埋下隐患。鑫龙煤业企业规划部根据公司领导要求,于2014年5月起接手了鑫龙煤业机关、后勤和各子分公司地面涉外合同管理工作,并安排专门人员进行了管理,根据合同工作的各项要求,对后面所有的合同全面进行了规范化的管理。
三、合同规范化管理的主要做法
1.完善合同管理制度,优化合同管理流程。为规范各分公司、机关部室的合同管理工作、满足合同管理工作需要,实现合同管理的制度化,预防和减少合同纠纷的发生,维护公司合法权益,制订了《安阳鑫龙煤业(集团)有限责任公司合同管理办法》鑫煤〔2014〕207号,使各分公司、机关部室的合同管理做到有章可循。合同管理制度的主要内容包括:合同管理机构的建立及其职责的明确界定;合同签订前的供应商资格、价格、质量与履约能力审查;合同签订的程序、权限设定、法人授权委托书办法、合同专用章的管理;合同履行与纠纷的处理等具体内容。
2.及时启用“安阳鑫龙煤业(集团)有限责任公司合同专用章”,并予以公布,指定专门人员进行管理。
3.重点要求各责任单位在合同签订前,加强对供应商的资格审查。对供应商的资质、商品价格与质量、履约能力的审核。合同管理部门在对供应商材料进行审核并形成审核意见后,要将审核报告上报主管部门审核。
4.编制了安阳鑫龙煤业(集团)有限责任公司合同审批表,确保在合同签订过程中,各专业部门或领导及时发现问题,及时处理。
5.对不同合同规定不同的上报材料,加以区分。通过议标签订的合同,报合同会签单与会谈纪要;通过招标签订的合同,报合同会签单与中标通知书;通过领导批示签订的合同,报相关请示和领导批示。
6.编制了安阳鑫龙煤业集团有限责任公司合同管理台帐,涉及序号、合同名称、经办部门、经办人、签订日期、合同期限、合同价、对方单位、存档份数、归档日期、备注等11项内容,确保各项合同查找有据可依,查询方便。如下表:
7.合同查询时,做好查询、借用等相关手续(查询借用人员需要填写查询、借用登记表,并将借用、查询时间及归还时间填写清楚,借用时除了填写登记表外,还要打借条),防止合同备份资料的遗失。
四、实施效果
通过对公司机关部室及分公司涉外合同管理进行了规范管理以来,公司合同管理工作获得了长足发展。
1.通过制度的制定和完善,为机关部室及分公司涉外合同签订前、签订过程和签订后备案等工作提供了管理流程和依据。
2.规避了部分法律风险。
3.加强了机关部室及分公司涉外合同的监管工作。
2005年农村统包酬金采取计件与KPI绩效考核相结合的方式,并对2004年所有实行准统包的单位采取与统包单位相同的考核办法,全部列为正式的农村统包管理,农村统包责任人需与县分公司经理签定统包绩效合同。
一、计件酬金的计算方法:
1、业务受理酬金:办理新装、移机、开办增值业务、开办程控新业务、过户、改号业务,每件核发酬金2元。
2、线路代维酬金:每条用户线路(ADSL宽带与捆绑电话合算一条)每月核发0.6元。
3、设备代维费:每个无人职守光接点核发维护费100元。
4、固定电话、宽带业务发展酬金:每净增一户核发20元(乙类宽带按照包月值/90元计算)。
5、欠费买断酬金:按照当月应收欠费的2.5%核发酬金,要求当月到帐数与打印的发票金额相等,相差部分从统包酬金中抵扣,扣完为止。
二、KPI主要考核指标
1、业务收入占30%;
2、营销成本占5%;
3、维护成本占5%;
4、固话、宽带发展量(宽带不折算)占30%;
5、欠费率占30%。
具体考核办法及扣分办法见附件(农村统包绩效合同)。
三、统包酬金的计算公式:
计件酬金中欠费买断部分的60%+剩余的计件酬金×KPI分值/100+差异补贴—劳务工基本工资—其他扣款。
四、本管理考核办法自二00五年六月一日开始试行。
附件:农村统包绩效合同
××××有限公司股份转让合同
转让方:(甲方)
住所:受让方:(乙方)
住所:
本合同由甲方与乙方就广东有限公司的股份转让事宜,于年月日在广州市订立。
甲乙双方本着平等互利的原则,经友好协商,达成如下协议:
第一条股权转让价格与付款方式
1、甲方同意将持有广东有限公司的股份共元出资额,以万元转让给乙方,乙方同意按此价格及金额购买上述股份。
2、乙方同意在本合同订立十五日内以现金形式一次性支付甲方所转让的股份。
第二条保证
1、甲方保证所转让给乙方的股份是甲方在广东有限公司的真实出资,是甲方合法拥有的股权,甲方拥有完全的处分权。甲方保证对所转让的股份,没有设置任何抵押、质押或担保,并免遭任何第三人的追索。否则,由此引起的所有责任,由甲方承担。
2、甲方转让其股份后,其在广东有限公司原享有的权利和应承担的义务,随股份转让而转由乙方享有与承担。
3、乙方承认广东有限公司章程,保证按章程规定履行义务和责任。
第三条盈亏分担
本公司经工商行政管理机关同意并办理股东变更登记后,乙方、即成为广东有限公司的股东,按出资比例及章程规定分享公司利润与分担亏损。
第四条费用负担
本公司规定的股份转让有关费用,包括:全部费用,由(双方)承担。
第五条合同的变更与解除
发生下列情况之一时,可变更或解除合同,但双方必须就此签订书面变更或解除合同。
1、由于不可抗力或由于一方当事人虽无过失但无法防止的外因,致使本合同无法履行。
2、一方当事人丧失实际履约能力。
3、由于一方或二方违约,严重影响了守约方的经济利益,使合同履行成为不必要。
4、因情况发生变化,经过双方协商同意变更或解除合同。
第六条争议的解决
1、与本合同有效性、履行、违约及解除等有关争议,各方应友好协商解决。
2、如果协商不成,则任何一方均可申请仲裁或向人民法院。
第七条合同生效的条件和日期
本合同经广东有限公司股东会同意并由各方签字后生效。
第八条本合同正本一式4份,甲、乙双方各执壹份,报工商行政管理机关一份,广东有限公司存一份,均具有同等法律效力。
甲方(签名):乙方(签名):
年月日
注:
1.本范本适用于有限公司的股东之间和股东向股东以外的人转让出资,申请办理股东变更或股东出资比例变更备案的,应提交《股份转让协议》;
2.股东为自然人的,由其签名;股东为法人的,由其法定人代表人签名,并在签名处盖上单位印章;签名不能用私章或签字章代替,签名应当用签字笔或墨水笔,不得与正文脱离单独另用纸签名;
3.本合同如需公证或鉴证,应在条款中定明;
地址: 市 街 号,
法定代表人: ,职务:总经理。
乙方:__股份有限公司,
地址: 市 街 号,
法定代表人: ,职务:总经理。
上述当事人就双方公司合并的有关事宜达成如下协议:
1.双方公司合并后,公司名称为:__股份有限公司,地址:市 街 号。
2.原__股份有限公司:资产总值_____万元,负债总值_____万元,资产净值_____万元;__股份有限公司:资产总值_____万元,负债总值_____万元,资产净值_____万元;现__股份有限公司资产净值为_____万元。
3.现__公司注册资金总额为_____万元,计划向社会发行股票_____万股计_____万元。发行股票后现__公司的资本构成为:公司注册资本总额为_____万元。其中:原__公司持股_____万元,占资本总额60%;原__公司持股_____万元,占资本总额的20%;原__公司持股_____万元,占资本总额的20%;新股东持股_____万元,占资本总额的20%; 4.原__公司发行的股票_____万股,旧股票调换新股票按1:3调换;原__公司发行股票_____万股,旧股票调换新股票按2:1调换;新发行的_____万股__公司股票向社会个人公开发行。
5.合并各方召开股东大会批准本合同的时间应当是_____年_____月_____日前。
6.__公司和__公司合并时间为_____年_____月_____日。
7.合同双方应为合并提供一切方便,并及时解决好原公司的有关债权债务问题。__公司应及时办理财产、帐册和文书移交,为双方合并顺利进行铺平道路。
甲方:__股份有限公司法定代表人:
乙方:__股份有限公司法定代表人:
乙方:XXX(以下简称:乙方)
丙方:XXX(以下简称:丙方)
甲、乙、丙方(以下简称三方)共同成立XXXXXX公司,共同开拓开XXX市场,自愿签定以下协议,并共同遵守。
一、三方共同出资并在XXXX工商局正式注册成立XXXXXXXX公司(以下简称公司)三方以现金或实物方式出资入股,公司股份分配如下:甲方占XX%、乙方XX%、丙方XX%.公司收益按年核算分配。
二、三方共同建立公司,以促进互联网的信息化发展为目的,其业务主要为:XXX、XXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX
三、甲方责任以及权利:甲方以XXX、XXX、XXX作为出资,保证其出资到位;负责公司的经营工作、随时掌握公司的经营情况,努力学习公司发展所需要的知识技能;充分利用其人际关系各种资源为公司解决实际问题,争取公司更大的生存空间和发展机会;随时关注并了解公司的经营情况,为公司的发展方向以及经营策略提供指导;按照其占有公司股份比例XX%负担公司费用和享受公司的利润。
四、乙方责任以及权利:乙方以XXXX、XXXX、XXXX作为出资,负责公司具体的经营工作、随时掌握公司的经营情况,努力学习公司发展所需要的知识技能;充分利用其技术力量等各种资源为公司解决实际问题,争取公司更大的生存空间和发展机会;随时关注并了解公司的经营情况,为公司的发展方向以及经营策略提供指导;按照其占有公司股份比例XX%负担公司费用和享受公司的利润。
五、丙方责任以及权利:丙方以XXXX、XXXX
XXXXX作为出资,保证其出资到位;负责公司的经营工作、随时掌握公司的经营情况,努力学习公司发展所需要的知识技能;充分利用其人际关系各种资源为公司解决实际问题,争取公司更大的生存空间和发展机会;随时关注并了解公司的经营情况,为公司的发展方向以及经营策略提供指导;按照其占有公司股份比例XX%负担公司费用和享受公司的利润。
六、三方之间的合作以资源共享、优势互补为基础,本着开诚布公、团结合作的原则,公司经营及发展涉及问题以三方商谈确定。
七、合同期限:本合同一式四份,自三方本人签字之后生效,有效期为五年。如果在合同到期前任一方决定中途退出,另外双方有优先接受其股份的权力,如果无法接受其退出的股份,决定退出的双方可以再另找寻其股份接受方并经股东会同意通过。如果决定退出的这双方无法找到其股份的接受方,则不能退出。合同到期后,若公司继续经营,则合同期限自动延续五年。
甲方签字:(盖章)
乙方签字:(盖章)
丙方签字:(盖章)
一、通平公司绩效考核现状
1.单位考核与员工考核相结合。考核办法实行二级考核模式,第一级考核是公司对各监理单位和施工单位的考核,称为基层单位绩效考核(简称单位考核),第二级考核是公司内部对其员工的考核,称为员工绩效考核(简称员工考核)。单位考核办法由公司经理部制定,员工考核办法由公司依据高管局下发的单位考核办法,结合本单位实际,制定出考核细则。
2.集中考核与日常考核相结合。单位集中考核每季度进行一次,单位日常考核采取随机抽查的方式,并做好日常考核记录。其中,集中考核占40%,日常考核占60%。员工集中考核每个月进行一次,员工日常考核随时进行,由人事劳资部做好日常考核记录。一般来说,单位在制定比例的时候依据高管局的考核办法,集中考核占40%,日常考核占60%。
3.综合考核和业务考核相结合。综合考核由人事劳资部和职能部门组织实施,主要考察综合管理、人力资源管理、财务管理、资产管理等方面。业务考核由其对应的业务主管部门对各监理单位和施工单位实行分类考核,其内容由公司的工程进度决定,目前有征地拆迁、桥梁隧道、工程进度、安全环保四大模块。
二、通平公司绩效考核存在的问题
1.考核指标繁杂,关键业绩指标空泛。对公司绩效考核历史记录的分析发现,考核扣分往往集中于工程进度、安全、质量、未完成宣传报道任务等方面。这可以看出:众多的考核指标没有得到有力的落实与执行,大部分指标及标准只是摆设;缺乏对关键业绩指标的界定与考核,导致考核结果在工作绩效上的偏离,难以获得员工的认同;考核方式的高度一致性抹杀了岗位之间工作内容的客观区分。其结果是,绩效考核并没有发挥其指导员工工作、改进绩效的作用。
2.考核人员组成的非科学性及考核信息来源的有限性。对各部室及各监理处、施工单位绩效考核的人员选择上,目前的做法是成立了由公司经理部会及各部室负责人组成的考核小组,挂靠人事劳资部。各单位对本单位员工绩效考核的人员选择上,做法并不统一,大体上由办公室主任、监理部部长、工程部部长、劳资人员进行考核。考核人员的组成虽然具有领导上的权威性,但由于时间、能力、专业水平上的限制、集中考核时表面工作的掩饰等原因,他们对将要考核的部门及人员可能缺乏足够的了解与信息支持,很难做到对员工进行客观公正公平的评价。同时,考核者与员工的私人友情或冲突、个人的偏见或喜好等主观因素在很大程度上影响绩效评价结果。
3.主观因素过多,缺乏客观评价。第一,非量化的考核指标使得不同的考核人员对同样的工作业绩缺乏统一客观的评价,考核者大多时候是依据自己的主观判断给予印象评分。第二,考核指标的繁杂及关键业绩指标的空泛导致考核重点不突出,各岗位缺乏实质上的客观区分。第三,较少考虑实际工作中的不可控因素也扭曲了考核结果。
4.强调控制与惩罚,缺乏激励与奖励。对员工进行细化考核时往往强调对各考核指标执行不力时的扣分,但对出色地完成工作却没有给予相应的加分。从绩效考核历史记录可以看出,这种扣分占据了整个绩效考核工作的大部分。这种导向促使员工的绩效目标停留在保质保量地完成工作任务上,并没有提高工作效率、改善工作绩效的动力。
三、完善通平公司绩效考核的几点建议
1.保证考核实施的客观性与公平性。考核的客观性与公平性影响到员工对绩效评估的满意度,可以提升员工对待工作的整体态度,实现组织绩效的快速提高。运用关键绩效指标理论与方法将考核指标分为定性指标与定量指标,从工作目标与岗位职责两个方面建立指标体系,既保障了考核评价的客观性,又具备可操作性。
简单回顾一下分包商的发展历程:上世纪70年代前,送变电施工基本是靠公司自有员工承担的,只有少量的技术含量低的运输、土方开挖等工作是雇用当地农民工的。80年代开始,随着施工任务的骤增,有限的员工队伍已经不能满足工程数量,开始陆续引入“成建制”施工队伍,纵观其发展20多年的轨迹,是施工队(分包商)从零散用工到成建制队伍、由弱走强的过程,现在的分包商已经不仅仅是过去从事简单体力劳动的包工队,他们有一定的人员、技术和机械设备储备,随着电力建筑市场的不断开放,一些有实力、善经营的分包商已经走向前台,自行承揽国内外的输变电工程。分包商的快速发展,给送变电国营企业带来更大的生存压力。
二、目前分包商合同管理存在的问题
合同管理流程不完善,对分包商约束力力度不够。公司所属各项目部普遍反映分包队伍不好管,完工后与其结算结不下去,更有的分包商在工程急、难、险、重的时候,向项目部索要更高的价格,苦于工程特殊情况和来自工期等方面的压力,项目部往往不得不在大大高于投标预算价格时妥协,导致工程成本增加。为今后的结算工作,大大增加了难度。致使资金回收紧张,严重影响公司正常施工生产和经营活动。
三、从规范合同,强化分包商管理
为了加强资金回收过程,防止企业应得效益的流失,减少分包商不合理要求,提高管理的有效性,让我们在管理过程中变被动为主动,严肃分包商管理工作成为至关重要的问题。笔者根据自己几年现场经验和对结算问题的理解,浅谈对分包商管理方面的几点建议:
1.重视施工前的合同签订管理
在以往的工程中出现过合同签订时间滞后的情况,接到中标通知书后基本上都在两个月左右签订施工合同,使我们不能及时在施工所在地设立帐户,自身垫付资金不能及时到位,施工准备、前期赔偿工作不能及时开展。近两年公司注重施工前的合同签订管理,意在成本的事前控制。从目前来看,效果不是很理想,虽然事先签订了分包合同,但分包单价过高,成本没有得到有效的控制,成本超支问题没有得到根本的解决,成本超支的压力仍然很大。主要表现在分包价格过高,没有给后续阶段留下利润空间,使后续阶段成本超支的可能性极大。工程公司在与分包商结算时,分包商往往出现漫天要价,夸大不实的工作量,对先前在施工中的约定,抵赖否定、不断扯皮,造成成本超支的风险。针对公司目前存在的诸多问题,笔者认为强调严肃分包商的管理注重合同签订,应该做到没有合同不允许开工,没有合同不给支付费用,这是控制我们费用超支的一个必然过程。项目部签订合同应当采用“纵向管理”,合同单价包死制度,避免与分包商之间相互扯皮的情况产生,影王乔北京送变电公司北京102401响施工进度。
2.细化合同内容
施工合同是项目部对承包商管理的依据。在合同签订中,必须详细了解和非常熟悉合同文件,并针对本工程各自的需要,不断完善。合同起草前,项目部应对分包劳动效率、消耗情况了解和掌握,做到心中有数,对于当前分包商的实际发生成本有客观的监督比较作用,同时对于报价越来越高的分包商可能会有一定警醒震慑作用。同时施工合同中要必须使用标准合同条款的合同文件。
3.奖惩明确、注重合同索赔管理
当前工程市场竞争激烈,施工企业不仅要充分利用自己的经营水平科学管理,控制工程开支,严谨施工组织设计,合理发挥技术和设备的优势,通过自身潜力的挖掘来赢得效益,而且也应通过加强合同的索赔管理来维护自己的利益。在对分包商管理工程中,应当奖惩分明,制度严格。对于在急、难、险、重、公司重点窗口工程中,表现突出、能够更好展示公司形象,赢得口碑的分包商予以优先考虑。同时,阻碍工施工进度,造成损失的,企业应对分包商进行索赔。综上所述,随着公司项目部建设的不断深入,加大对分包商控制力度成为了新的课题。笔者对公司未来分包商管理问题提出几点初步的想法:
⑴企业应当引入“招标竞争机制”
《孙子•势篇》说:“善战者,求之于势”。势者,形势、态势也。竞争中的“势”有优劣之分,强弱之别。优胜劣汰,能者居之。对于那些资质好、素质高、工作效率强,表现突出的分包商,企业可以优先采用。招标竞争机制能激发了分包商的的主动性,分包商之间有了竞争和比较,才更能便于施工企业的管理。
⑵对分包商采取考核管理
在分包商管理的过程中,可以采用考核的方式。做到以目标为牵引,以考核为推动力,加强对分包商管理过程中的监督。在分包商签订合同后,项目部要针对签订合同的内容,对分包商进行考核。如:①合同履约能力情况;②是否存在二包现象;③工程施工质量和安全;④在施工过程中是否服从项目部管理,是否存在打架斗殴、偷窃盗用等影响公司形象给公司造成损失的问题。项目部可以依托对分包商考核制度,进一步强化管理。对考核不符合标准的分包商,应严肃处理,对在考核中表现突出的,在新工程上优先考虑。
(3)互利共赢可持续发展
在送变电发展史中,分包商在发展过程中起到了不可磨灭的贡献。“互利共赢”既有对以往战略的继承和发扬,也有新形势下的新内涵,未来还会随着时间推移不断完善和充实。公司更需要培养一些具有较高文化素质与熟悉电力施工全过程的专业人员,来开展对分包商的管理。管理人员在处理与分包商的矛盾方法是否得当,将直接取决于能力的发挥。运用心理学的方法结合现场实际情况,加强心理沟通,只要有利于工作,大公无私,大胆地使用,目的是为了心理沟通和解决问题。比较复杂的间题,事前做好充分准备,不能强调生硬的管理,要进行面对面的口头沟通和交流,选择适当的时间和地点,平等地双向交流,关注分包商的心理变化,真诚地以心换心,有情、有理、有利地开导和劝说,必要时化整为零多沟通几次,这样既能改善、协调、融洽心理关系,又能借助良好的心理关系促进心理上的认同和接受。
四、结语
【关键词】 铜丝键合 弹坑 芯片结构
1 概要
在半导体铜丝键合工艺中讨论最多的都是在封装键合领域内讨论如何改进设备,材料和工艺方法去匹配铜丝工艺,提升铜丝工艺的可靠性和实用性,但很少有讨论在芯片设计和制造方面能做多少改进。本文重点分析芯片设计制造对铜丝工艺的的影响。
从铜丝键合工艺主要的失效分析统计来看,铜丝工艺在铝层弹坑损伤上要比金丝工艺严重得多。弹坑损伤在封装工艺上总存在工艺宽容度窄,控制难度高的问题,容易影响三极管的良品率和可靠性。所以改进的目标就定在如何能把芯片键合区设计成能经受住铜丝键合高强度冲击而又不容易发生弹坑损伤或是能够缓冲铜丝键合冲击应力的键合区结构上。
2 键合区铝层的分析
键合区铝层是的主要作用是芯片电极的引出,作为芯片与铜线连接的地方,连接的好坏关系到芯片的电参数能否可靠输出。铝层除了起到连接作用外,在焊线键合当中还起到一个关键的缓冲作用。因为铝金属硬度比金,铜都低,所以在键合过程中,铝层像一张“海绵垫子”一样铺在材质脆弱的硅片上面,这样当坚硬的铜球快速打在硅片上时,巨大能量和作用力才不能直接接触硅片,而是大部分被铝层吸收消化掉了。这个过程即完成了铜球与铝层的连接,也保护了易碎的硅片表面基本不受损。
要是想减少铜球对芯片的损伤,增加铝层厚度是最有效最直接的办法。铝层厚度增加后肯定能吸收更多的能量,起到更好的缓冲作用。为了确定铝层厚度增量,在原铝层3um厚的基础上用三个型号芯片各做出增量0.5um一档的四种厚度的实验片,分别为3.5um,4um,4.5um,5um。芯片的型号也是生产中铜丝工艺弹坑出现比较多的BUL4XXA,BUL4XXB和BUL4XXC。再把几种芯片在同等封装工艺条件下进行铜丝键合对比。判断的方法是看在设备的最小允许工艺条件下哪一个铝层厚度的芯片弹坑出现的比例最少或是没有。分3组试验,每组各型号厚度样品各20个(如图1,2,3)。
综合三组试验的结构来看,铝层的增加的确能降低芯片弹坑的产生数量,不同型号的芯片抵抗弹坑的能力有不一样,所以会存在差异,但是总的趋势是一致的。
3 键合铝层表面状态的分析
芯片铝层的表面状态主要是指键合区铝层的光滑和粗糙程度,通俗叫法为粗糙度,用可测量的表达就是铝层表面的反射率。反射率是通过仪器测量铝层表面对光束的反射能力,表面光滑反射的光就多,反射率就大,反之表面粗糙反射光就少,反射率就小。由于芯片制造工艺控制的差异,还有就是芯片设计的差异,在铝层表面会出现如图1的这种差异。a图属于铝层粗糙度很高的状态,它的反射率测试是38;b图属于粗糙度中等的状态,它的反射率测试是98;c图属于粗糙度最低的状态,表面接近镜面,它的反射率测试是233。从三幅图片直观的看出,同一款芯片的铝层表面状态差异还是非常大的。
为了确认这三种状态的芯片铝层抗铜丝键合冲击的能力,也和前面的实验一样,在同等条件下做弹坑试验。
试验结果得出,图1-c的铝层状态在各种芯片上的表现都要优于其他两种状态的铝层,抗铜丝球冲击的能力明显更强。
找出了更适合铜丝工艺的芯片铝层表面状态,需要从机理上分析原因。铝层反射率高,说明它的铝层表面更光滑,图2是在显微镜下放大100倍后的铝层表面状况,2-a图为反射率低的铝层,可以看到表面铝层的颗粒比较大,突起也比较多,像平整但不齐的“沙地”;而2-b图为反射率高的铝层,可以看到表面铝层的颗粒要比2-a图的细腻很多,也看不到明显的突起,呈现出铝金属的银白色光泽。
从光学原理来看,2-a图颗粒大的铝层由于表面凹凸不平,光线射到表面发生漫反射,从上面直射的光会向四面八方散射,从显微镜上看要暗一点;2-b图颗粒细,能组成统一光滑的平面,直射的光线在它表面发生镜面反射,从显微镜看光线就很充足会亮一点。由于铝层是通过金属进行高温蒸发制作上去的,在同等条件下,颗粒小的铝层结合得会更紧密,铝金属的质地就更坚实。所以从这里分析看,致密的铝层之所以耐冲击能力要强一些,主要靠的就是致密的铝层对铜丝球的冲击力提供了更为可靠的缓冲,而疏松的铝层抵御冲击的能力要差。
为了证实铝层致密性的差异,从键合原理分析,致密的铝层应该和铜球的键合会更紧密。为了验证假设的结果,还做了致密铝层和疏松铝层的焊球剪切力对比。在同一条件下对比结果如下(如表4):
试验的假设明显成立,所以致密的铝层不仅有很强的抗铜丝冲击的能力,而且还能提高铜丝球的键合强度。
4 铝层下介质材料的分析
在试验过程中发现一个现象,就是有部分型号的芯片有弹坑损伤总出现在发射极压焊区一边的现象。从这个现象判读,芯片两个压焊区直接存在着某个方面的差异。用出现这个现象最明显的芯片BUL4XXB来对比。在统计的100个发生弹坑的样本中,发射级E区有弹坑的为96%,基极B区有弹坑的为4%,绝大部分弹坑都发生在芯片的发射级E区上。从表象上分析能说明基极比发射极更耐冲击。
通过解剖芯片发现,铝层下的发射极和基极的介质材料是不一样的,发射极基底材料为二氧化硅,而基极的基底材料为硅。从有此类设计的芯片中都发现了在同一冲击力下二氧化硅材质容易产生弹坑的的现象可以说明,硅基底要比二氧化硅基底更硬。分析完这两者之间的差异后,设计芯片版图时两个键合区下的介质层都设计成硅材料的结构,这在设计方法上是完全可行的。
5 发射极二极管的版图分析
由于大部分发射极有二极管设计的芯片存在着较高比例的弹坑损伤失效,这最后的问题就需要分析发射极上的二极管结构了。
带二极管系列的这类芯片,从失效的情况来看,大部分弹坑发生的地方也都是二极管所在的发射极上,所以失效的因素肯定和二极管结构相关。从生产线上统计,弹坑最严重的产品为BUL4XXC这个产品,即使在铝层已经加厚到5um厚的情况下,还会有4%的弹坑失效存在,而同样是二极管系列的芯片BUL2XXD在铝层厚度4um的情况下只有2.3%的弹坑失效。如图3-a为BUL4XXC,3-b为BUL2XXD左边的键合区就是三极管的发射极,里面都有一个长方形的结构,这就是二极管结构。
总结了二极管弹坑位置的图像发现,容易发生弹坑的区域还是有特点的。从图4中可以发现产生弹坑的区域总是在键合区内有线条的图形上,a图和b图都在二极管的边线上,c图上面的坏点则压到了一个圆形的引线孔上,而下面没有压到的焊点则没有损坏。
用KOH溶液把芯片铝层去掉后观察发现,方条形的二极管和圆孔的引线孔都是用光刻刻出来的窗口,刻出来的窗口与二氧化硅层有1.2um的高度差,也就是说两者之间存在一个阶梯状的台阶。铜球压在台阶上容易造成弹坑损伤。
综上分析,键合区里任何结构的台阶设计,只要铜球压点压在这样的台阶上,受力点就不在一个平面上,强大的冲击力完全作用到台阶的上沿,接触面积变小,压强增大,致使台阶上沿承受不了而产生裂纹,细小的裂纹很容易沿着硅片的解理面裂开,在最终的压力下形成弹坑。最后解决的方式就是版图设计时把二极管宽度尺寸扩大,能容下相应尺寸的铜球既可。