摘要：在深紫外光刻投影物镜的研制中，彗差和像散的补偿主要依靠光学元件的偏心调整机构。分析其工作原理及传动比特性：首先采用速度瞬心法推导传动比理论计算公式；然后建立偏心调整机构的运动学仿真模型，对输入／输出传动比进行模拟分析，并对光学元件沿X、Y向运动的位移特性进行分析；最后，分析机构沿X、Y向分别运动时正交方向的运动耦合误差。结果表明：通过理论计算和运动学仿真分析得到的传动比极其吻合；光学元件中心沿X、Y向的输出位移和驱动器输入位移均呈强线性关系；在驱动器输入位移为100μm时，光学元件沿X向的耦合误差为0．16％，沿Y向的耦合误差为0．497％；在驱动器输入位移为2000μm时，光学元件X向的耦合误差增大到3．486％，沿Y向的耦合误差增大到9．888％；为后续研究提供了理论依据。

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