杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
《微纳电子技术》经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，本刊积极探索、勇于创新，栏目设置及内容节奏经过编排与改进，受到越来越多的读者喜爱。
《微纳电子技术》致力于推动我国微米纳米技术的发展，大量报道了我国纳米电子学的基础性研究和MEMS领域的开发与应用，为全国从事微纳电子技术研究的人员搭建了一个良好的技术、信息交流平台，对我国纳米技术研究人员所做的早期研究工作和取得的成果做出了真实的、历史性的描述。
《微纳电子技术》杂志学者发表主要的研究主题主要有以下内容：
（一）化学机械抛光；CMP；抛光液；去除速率；ULSI
（二）CMP；阻挡层；抛光液；碱性抛光液；化学机械抛光
（三）MEMS；微电子机械系统；微机械；硅；传感器
（四）无线无源；MEMS；压力传感器；传感器；高温压力传感器
（五）共振隧穿二极管；RTD；负阻器件；共振隧穿器件；负阻
（六）单电子晶体管；量子元胞自动机；QCA；积分器；磁体
（七）矢量水听器；MEMS；加速度计；电容式；微机械
（八）GAN；高电子迁移率晶体管；MEMS；HEMT；MMIC
（九）MEMS；风速风向传感器；微电子机械系统；无源无线；微机电系统
（十）光刻机；工件台；光刻；掩模；生物芯片
1、基金项目：所涉及的课题请在文中注明，如“基金项目：××基金资助项目 （注明基金编号）”，并附基金证书复印件（扫描件）。
2、正文内容要求论点明确，资料可靠，文字精炼，层次清楚，数据准确，具有学术性、创新性和实践性。
3、稿件中的注释请以脚注形式在当页页脚标出。引用报刊资料，请注明作者姓名、文章标题、刊名、刊期；引用书籍资料，请注明作者姓名、书名、出版社、出版时间和页码；引用互联网资料，请注明作者姓名、文献名、网址和时间。
4、稿件必须用字规范，标点符号、计量单位、数字用法、图表等应符合国家有关标准和规定。
5、题目内不应列入非公知公用的符号、代号以及数学公式等。
立即指数：立即指数 (Immediacy Index)是指用某一年中发表的文章在当年被引用次数除以同年发表文章的总数得到的指数；该指数用来评价哪些科技期刊发表了大量热点文章，进而能够衡量该期刊中发表的研究成果是否紧跟研究前沿的步伐。
引证文献：又称来源文献，是指引用了某篇文章的文献，是对本文研究工作的继续、应用、发展或评价。这种引用关系表明了研究的去向，经过验证，引证文献数等于该文献的被引次数。引证文献是学术论著撰写中不可或缺的组成部分，也是衡量学术著述影响大小的重要因素。
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