微细加工技术杂志收录论文类型主要包括： 综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术、等。

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微细加工技术杂志 是由信息产业部主管， 中国电子科技集团公司第48研究所主办的 统计源期刊， 影响因子为：0.19。 顺应社会的发展，杂志获得了多项荣誉：Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊、等。

杂志往期论文摘录展示

电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析

环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究

电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究

飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究

光刻机试验运动装置振动信号的时频分析